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泰勒白光干涉測(cè)量系統(tǒng)集高精度、高穩(wěn)定性和智能化于一體，專為工業(yè)與科研領(lǐng)域的精密表面形貌測(cè)量而設(shè)計(jì)。系統(tǒng)采用先進(jìn)的干涉技術(shù)，配備閉環(huán)無(wú)壓電Z軸掃描儀，提供2.2 mm垂直測(cè)量范圍，并通過(guò)標(biāo)配的AutoStitch功能實(shí)現(xiàn)高達(dá)100 mm的Z向拼接，適用于大臺(tái)階或復(fù)雜結(jié)構(gòu)的高分辨率三維重建。1024×1024像素陣列支持大視場(chǎng)下保持空間分辨率，確保細(xì)節(jié)清晰呈現(xiàn)。

系統(tǒng)搭載新型Claritas 20光調(diào)節(jié)技術(shù)，顯著提升角度靈敏度和數(shù)據(jù)質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)<0.2 ?的RMS可重復(fù)性與<0.1%的步高重復(fù)性，全量程內(nèi)分辨率達(dá)0.1 ?。有限元優(yōu)化的機(jī)械結(jié)構(gòu)保障了出色的R&R性能，無(wú)壓電設(shè)計(jì)更降低了長(zhǎng)期使用中的維護(hù)成本。自動(dòng)表面檢測(cè)功能有效防止物鏡碰撞，延長(zhǎng)設(shè)備壽命。